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Schmalz-Wafer-Greifer SWG hilft bei schonender Handhabung von Wafern und ZellenVideo 061
Der Schmalz Wafer-Greifer erzeugt hohe Haltekräfte und handhabt die empfindlichen Teile (Wafer, Zellen oder Folien mit d < 120µm) dabei schonend, ohne Oberflächenverunreinigung. Die Abluft kann optional kontrolliert abgeleitet werden. Gleichzeitig kann der Wafer-Greifer auch bei Teilbelegung sicher greifen. Dies ermöglicht das Eliminieren von defekten Werkstücken aus dem Prozessraum und verhindert, dass Siliziumstäube oder Bruchstücke im Prozessraum verteilt werden. Der Schmalz Wafer-Greifer ist mit seinem geringem Luftverbrauch kosteneffizient. Zusätzlich kann er mit Sensoren zur Brucherkennung und Belegungsprüfung ausgestattet werden.
